Huyện Vân Canh được tái lập ngày 24-8-1981 do tách ra từ huyện Phước Vân cũ, ban đầu gồm 4 xã: Canh Hiệp, Canh Hòa, Canh Liên, Canh Thuận.

Ngày 23-9-1981, chuyển 2 xã Canh Hiển và Canh Vinh (tách ra từ xã Phước Thành) thuộc huyện Tuy Phước về huyện Vân Canh quản lý.

Ngày 19-4-2002, thành lập thị trấn Vân Canh - thị trấn huyện lỵ huyện Vân Canh trên cơ sở 1.396,61 ha diện tích tự nhiên và 2.861 nhân khẩu của xã Canh Thuận; 599,26 ha diện tích tự nhiên và 2.334 nhân khẩu của xã Canh Hiệp.